วัสดุไดอิเล็กทริกชนิดฟิล์มพลาสติกที่นิยมใช้ในการสร้างตัวเก็บประจุแบบฟิล์มโลหะ ได้แก่ โพลีโพรพีลีน (PP), โพลีฟีนิลีนซัลไฟด์ (PPS), โพลีเอสเตอร์ และกระดาษเคลือบโลหะ (MP) วัสดุไดอิเล็กทริกเหล่านี้มีคุณสมบัติในการซ่อมแซมตัวเองที่แตกต่างกัน

เมื่อเกิดความเสียหายในตัวเก็บประจุแบบฟิล์มโลหะ การเกิดประกายไฟจะทำให้ชั้นโลหะบางๆ รอบบริเวณที่เสียหายระเหยกลายเป็นไอ กระบวนการระเหยนี้จะกำจัดชั้นโลหะที่เป็นตัวนำในบริเวณรอบๆ จุดที่เสียหายออกไป เนื่องจากวัสดุที่เป็นตัวนำถูกกำจัดออกไปแล้ว จึงไม่สามารถเกิดการลัดวงจรระหว่างแผ่นตัวนำได้ ซึ่งจะช่วยป้องกันไม่ให้ชิ้นส่วนเสียหาย

ความสามารถในการซ่อมแซมตัวเองของตัวเก็บประจุแบบฟิล์มโลหะขึ้นอยู่กับหลายปัจจัย รวมถึงคุณสมบัติของวัสดุไดอิเล็กทริกและความหนาของชั้นโลหะ กระบวนการระเหยต้องอาศัยออกซิเจนในปริมาณที่เพียงพอ และวัสดุไดอิเล็กทริกที่มีปริมาณออกซิเจนบนพื้นผิวสูงจะมีคุณสมบัติในการซ่อมแซมตัวเองที่ดี วัสดุไดอิเล็กทริกแบบฟิล์มพลาสติกบางชนิดที่มีคุณสมบัติในการซ่อมแซมตัวเองที่ดี ได้แก่ โพลีโพรพีลีน โพลีเอสเตอร์ และโพลีคาร์บอเนต ในทางกลับกัน วัสดุไดอิเล็กทริกแบบฟิล์มพลาสติกที่มีปริมาณออกซิเจนบนพื้นผิวต่ำจะมีคุณสมบัติในการซ่อมแซมตัวเองที่ไม่ดี โพลีฟีนิลีนซัลไฟด์ (PPS) เป็นวัสดุไดอิเล็กทริกชนิดหนึ่งที่มีคุณสมบัติดังกล่าว

นอกจากจะช่วยเพิ่มความน่าเชื่อถือแล้ว ความสามารถในการซ่อมแซมตัวเองของตัวเก็บประจุแบบฟิล์มโลหะยังช่วยยืดอายุการใช้งานอีกด้วย อย่างไรก็ตาม การซ่อมแซมตัวเองจะทำให้พื้นที่ผิวของอิเล็กโทรดโลหะลดลงเมื่อเวลาผ่านไป

ในทางปฏิบัติ สภาพแวดล้อมบางอย่างที่สามารถเร่งให้ชิ้นส่วนเสียหายได้ ได้แก่ อุณหภูมิสูง แรงดันไฟฟ้าสูง ฟ้าผ่า ความชื้นสูง และการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า (EMI)

นอกจากคุณสมบัติการซ่อมแซมตัวเองที่ดีแล้ว ตัวเก็บประจุฟิล์มโพลีเอสเตอร์เคลือบโลหะยังมีค่าคงที่ไดอิเล็กตริกสูง เสถียรภาพทางอุณหภูมิที่ดี ความแข็งแรงของไดอิเล็กตริกสูง และประสิทธิภาพเชิงปริมาตรที่ยอดเยี่ยม คุณลักษณะเหล่านี้ทำให้ตัวเก็บประจุเหล่านี้เหมาะสำหรับการใช้งานทั่วไป ตัวเก็บประจุโพลีเอสเตอร์เคลือบโลหะถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในงาน DC เช่น การบล็อก การบายพาส การแยกสัญญาณ และการลดเสียงรบกวน

ตัวเก็บประจุโพลีโพรพีลีนเคลือบโลหะมีคุณสมบัติเด่นคือ ความต้านทานฉนวนสูง การดูดซับไดอิเล็กตริกต่ำ การสูญเสียไดอิเล็กตริกต่ำ ความแข็งแรงของไดอิเล็กตริกสูง และเสถียรภาพในระยะยาว ชิ้นส่วนขนาดกะทัดรัดเหล่านี้ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในวงจรที่ต่อกับไฟหลัก เช่น วงจรกรอง วงจรปรับแรงดันไฟฟ้า และวงจรสนับเบอร์ ตัวเก็บประจุฟิล์มโพลีโพรพีลีนเคลือบโลหะสองชั้นสามารถทนต่อแรงดันไฟฟ้าสูงและโหลดพัลส์สูงได้ และเหมาะสำหรับงานที่มีโอกาสเกิดพัลส์สูง ตัวเก็บประจุเหล่านี้มักใช้ในตัวควบคุมมอเตอร์ สนับเบอร์ แหล่งจ่ายไฟแบบสวิตช์โหมด และมอนิเตอร์